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J.W.Swart, A.C.S.Ramos, P.J.Tatsch, F.C.Prince, S.G.Santos Filho e E.Ribeiro,
``Projeto e caracterizaçao de um sistema RIE e sua aplicaçao na corrosao de tungstenio sobre GaAs - Sessao XIX'',
VIII Congresso da Sociedade Brasileira de Microeletronica, 13-19,
(1993).