Depto. de Semicondut. Instrumentos e Fotônica

Trabalhos completos publicados em anais de simpósios internacionais

1.

N.I.Morimoto e J.W.Swart, ``Development of a cluster tool and analysis of deposition of silicon oxide by TEOS/O2 PECVD'', MRS'96 Spring Meeting, 429, 263-268, (1996).