Centro de Componentes Semicondutores

Linhas de Pesquisa

1. Microeletronica. Microeletronica. Projeto e processos de fabricacao de dispositivos e circuitos integrados Si e GaAs. Medidas e caracterizacao. Implantacao ionica. Litografia por feixe de eletrons. Materiais para Microeletronica (Aprovada pelo Departamento/Conselho Científico em __/____).