Depto. de Semicondut. Instrumentos e Fotônica

Resumos publicados em anais de congressos internacionais

  1. M.A.A.Pudenzi, J.A.Diniz, P.J.Tatsch, J.K.Herion e A.Müch, ``SIMS Analyses of Silicon-Oxynitride Films Formed by N(2+) and No(+) Implantation'', SIMS XI International Conference, Estados Unidos , s/n, 249-252, (1997).


Fri Nov 13 11:22:52 BDB 1998