Depto. de Semicondut. Instrumentos e Fotônica
Resumos publicados em anais de congressos internacionais
M.A.A.Pudenzi, J.A.Diniz, P.J.Tatsch, J.K.Herion e A.Müch,
``SIMS Analyses of Silicon-Oxynitride Films Formed by N(2+) and No(+) Implantation''
, SIMS XI International Conference, Estados Unidos ,
s/n
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Fri Nov 13 11:22:52 BDB 1998