Departamento de Semicondutores, Instrumentos e Fotônica   Produções / Resumos Publicados Resumos publicados em anais de congressos (nacional)   1.   Moshkkalyov, S.A. (autor); Reyes-Betanzo, C. (autor); Saragossa Ramos, A.C. (autor); Diniz, J.A. (autor); Swart, Jacobus Willibrordus (autor); "Mechanistics Study of Silicon and Tungsten Plasma Etching in SF/Ar Using Optical Emission Spectroscopy", 08/2000, CIENTÍFICO NACIONAL, Congresso Brasileiro de Aplicações de Vácuo na indústria e na Ciência, Vol. 1, pp.90-90, São josé dos Campos, SP, BRASIL, 2000 *   2.   Danilov, I. (AUTOR); Lujan, G.S. (AUTOR); Pudenzi, M.A.A. (AUTOR); Swart, Jacobus Willibrordus (AUTOR); "AIN film as cap layer for Si+ ion implantation doping of GaAs", 03/2000, CIENTÍFICO NACIONAL, 3rd Workshop de Microeletrônica e Microsistemas do LSI, Vol. 1, pp.1-1, São Paulo, SP, BRASIL, 2000 *   * Esta produção está associada também a outros órgãos