Faculdade de Engenharia Elétrica e de Computação   Departamento de Semicondutores, Instrumentos e Fotônica   Produções / Resumos Publicados Resumos publicados em anais de congressos (nacional)   1.   BARBAROTO, PEDRO RICARDO; , ; Doi, Ioshiaki; Swart, Jacobus Willibrordus; "DETERMINATION OF THE RATIO BETWEEN THE RATES R{411} AND R{100} FOR CONVEX CORNERS COMPENSATION IN KOH SILICON ETCH", 11/2001, CIENTÍFICO NACIONAL, Congresso Brasileiro de Engenharia Mecânica - COBEM 2001, Vol. 1, pp.19-19, MG, BRASIL, 2001 *   * Esta produção está associada também a outros órgãos