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Cotrin, Ricardo; Doi, Ioshiaki; Zakia, Maria Beny; Swart, Jacobus Willibrordus; Diniz, J.A.; "Deposition and Characterization of LPCVD Polycrystalline Silicon", 11/2001, CIENTÍFICO NACIONAL, Congresso Brasileiro de Engenharia Mecânica - COBEM 2001, Vol. 1, pp.62-70, MG, BRASIL, 2001 *
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