CCS - Participações em congressos especializados nacionais com trabalhos apresentados

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Centro de Componentes Semicondutores

Produções / Participação em congressos e outros eventos

Participações em congressos especializados nacionais com trabalhos apresentados

Poster

NOBRE, F. D. M. (Autor); TATSCH, Peter Jurgen (Autor); MOSHKALEV, S.A. (Autor); XXX CBRAVIC - Congresso Brasileiro de Aplicações de Vácuo na Indústria e na Ciência, (13/09/2009 a 16/09/2009), Campos do Jordão, SP, Brasil, Poster:"Plasma etch of polycrystalline silicon films using Ar/SF6/CI2 for fabrication of an infrared sensor". *

* Esta produção está associada também a outros órgãos

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