Nome Projeto: | SILICON NITRIDE ETCHING IN HIGH - AND LOW - DENSITY PLASMAS USING SF6/02/N2 MIXTURES!-- --> |
|
Tipo Projeto: | Pesquisa Básica!-- --> |
| Situação Projeto: | Em Andamento!-- --> |
|
Data Início Projeto: | 11/2003!-- --> |
| Ano Fim Projeto: | 2004!-- --> |
|
Tipo Envolvimento Contrato: | Individual!-- --> |
|
Descrição Projeto: | SILICON NITRIDE ETCHING IN HIGH - AND LOW - DENSITY PLASMAS USING SF6/02/N2 MIXTURES!-- --> |
|
Instituições | Nome: | Fundação de Amparo à Pesquisa do Estado de São Paulo - Fapesp!-- --> |
|
Tipo do Financiamento: | Auxilio publicação!-- --> |
| Nº Processo na Financiadora: | 2003/02530-5!-- --> |
|
Data Início Financiamento: | 11/2003!-- --> |
| Data Fim Financiamento: | 01/2004!-- --> |
|
Valor do Financiamento: | R$ 1.603,12!-- --> |
|
|
|
Órgãos | 29.00.00.00.00.00.00 - FACULDADE DE ENGENHARIA ELETRICA E DE COMPUTACAO!-- --> |
|
Equipes Projeto | JACOBUS WILLIBRORDUS SWART( Responsável )!-- --> |
|
|